| 协昆有限公司 自 1997 年创立以来，便一直致力于工程技术的研发，至今已经累积相当多的工程经验，并有业界最优秀的工作团队。 |
| 本公司正职员工皆有丰富的施工经验，施工能力备受业界所肯定。而协昆有限公司也与鼎力土木结构技师事务所、威克精密有限公司、谱威科技集团、新加坡 LSP Consultants PTE LTD、美国 NewCom Company 等专业公司进行技术合作与交流，使协昆有限公司成为业界兼具理论基础与工程实绩最专业的公司。 |
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机台无震动或刚性需求，但重量稍重，以钢板分散机台重量，避免高架地板下陷。 |
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| 型式 |
简述 |
适用机台 |
| A3 |
Concentrated load between 300~700kg/in2 |
Curing/Baking & Alloy (Cu), RPO & SiON - Frontend PRODUCER, HDP STI, SiN Dep, PR Asher (Frontend) - ETCH |
| A4 |
Concentrated load higher than 700kg/in2 |
&PR Coating (Cu), Seed/Barrier Dep (Cu), Metal Etch (AlCu) |
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机台无震动或刚性需求，但重量很重，高架地板无法承受，必须在钢板之下作钢构补强。 |
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| 型式 |
简述 |
适用机台 |
| B3 |
Implanter (loading over 700kg/in2) |
High Current Implanter, Medium Current Implanter |
| B4 |
Wet bench & CMP & Tube Cleaner (loading over 700 kG/in2) |
In-line Track, W CMP, Wet Bench, Tube Cleaner |
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机台本身有震动与刚性需求，或是对位移极为敏感的机台，以水泥基座来达到最佳隔震效果。 |
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| 型式 |
简述 |
适用机台 |
| C2 |
CD-SEM (AMT,Hitachi) |
CD SEM, Inspection SEM |
| C3 |
Scanner |
In-line Scanner (DUV) |
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机台有震动需求，机台本身重量不重，以独立脚与高架地板作隔离。 |
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| 型式 |
简述 |
适用机台 |
| D2 |
Metrolog & Ispection SEM |
ADI, AEI, Defect Inspection |
| D3 |
Novellous, W plug |
W Plug Dep, Nevellous |
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机台有震动需求，机台本身重量很重，需要作隔离平台与高架地板作隔离。 |
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| 型式 |
简述 |
适用机台 |
| E3 |
Overlay-KLA Tancor & compass & Track |
Overlay |
| E4 |
Lam gas box |
Metal Etch gas box |
| E5 |
Pump on raised floor |
Pump Foundation |
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