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| 为什么基座会有高刚性的需求? |
| 新闻日期:2009/10/22 |
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以Scanner来说,机台通常是全Fab内价位最高的,而且机台重量也很重.所以为了使Scanner顺利的运作,必须要求底下的Foundation要有很高的刚性,一来支撑机台重量,二来也较不容易受到环境震动而影响其运转.刚性越高,就越不容易把楼版传来的震动放大,上面的机台也就越稳定.
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