| 協崑有限公司 自 1997 年創立以來，便一直致力於工程技術的研發，至今已經累積相當多的工程經驗，並有業界最優秀的工作團隊。 |
| 本公司正職員工皆有豐富的施工經驗，施工能力備受業界所肯定。而協崑有限公司也與鼎力土木結構技師事務所、威克精密有限公司、譜威科技集團、新加坡 LSP Consultants PTE LTD、美國 NewCom Company 等專業公司進行技術合作與交流，使協崑有限公司成為業界兼具理論基礎與工程實績最專業的公司。 |
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機台無震動或剛性需求，但重量稍重，以鋼板分散機台重量，避免高架地板下陷。 |
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| 型式 |
簡述 |
適用機台 |
| A3 |
Concentrated load between 300~700kg/in2 |
Curing/Baking & Alloy (Cu), RPO & SiON - Frontend PRODUCER, HDP STI, SiN Dep, PR Asher (Frontend) - ETCH |
| A4 |
Concentrated load higher than 700kg/in2 |
&PR Coating (Cu), Seed/Barrier Dep (Cu), Metal Etch (AlCu) |
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機台無震動或剛性需求，但重量很重，高架地板無法承受，必須在鋼板之下作鋼構補強。 |
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| 型式 |
簡述 |
適用機台 |
| B3 |
Implanter (loading over 700kg/in2) |
High Current Implanter, Medium Current Implanter |
| B4 |
Wet bench & CMP & Tube Cleaner (loading over 700 kG/in2) |
In-line Track, W CMP, Wet Bench, Tube Cleaner |
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機台本身有震動與剛性需求，或是對位移極為敏感的機台，以水泥基座來達到最佳隔震效果。 |
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| 型式 |
簡述 |
適用機台 |
| C2 |
CD-SEM (AMT,Hitachi) |
CD SEM, Inspection SEM |
| C3 |
Scanner |
In-line Scanner (DUV) |
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機台有震動需求，機台本身重量不重，以獨立腳與高架地板作隔離。 |
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| 型式 |
簡述 |
適用機台 |
| D2 |
Metrolog & Ispection SEM |
ADI, AEI, Defect Inspection |
| D3 |
Novellous, W plug |
W Plug Dep, Nevellous |
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機台有震動需求，機台本身重量很重，需要作隔離平台與高架地板作隔離。 |
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| 型式 |
簡述 |
適用機台 |
| E3 |
Overlay-KLA Tancor & compass & Track |
Overlay |
| E4 |
Lam gas box |
Metal Etch gas box |
| E5 |
Pump on raised floor |
Pump Foundation |
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