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為什麼基座會有高剛性的需求?

新聞日期:2009/10/22

以Scanner來說,機台通常是全Fab內價位最高的,而且機台重量也很重.所以為了使Scanner順利的運作,必須要求底下的Foundation要有很高的剛性,一來支撐機台重量,二來也較不容易受到環境震動而影響其運轉.剛性越高,就越不容易把樓版傳來的震動放大,上面的機台也就越穩定.

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